某半导体技术IC芯片营造厂在晶圆生产加工整个过程中,安全使用硅烷完成硅概念生成,空气清洗塔生成高密度含硅废渣外理。废渣外理存在pH冲击大(2-11)、硅份量高的特色,传统的外理办法易发现硅垢拥堵毛病。
电镀废水材料及由来
电镀废水主耍成份为:
溶于性硅酸盐
:SiO₂浓度值达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢空气氧化钠
:洗衣机清洗塔强酸强碱洗衣机清洗液残留物
小粒硅
:nm级SiO₂溶液
痕量砷
:制造原材料残渣带进去
处置的工艺工作流程
自主创新使用"多级与+膜过滤程序+蒸发掉析出"加工过程:
五级与
:用CaO改善pH至4-5,合成硅酸钙沉垫,硅除去率60%。
2级采和
:加Na₂CO₃将pH提高了至9,进一歩沉淀物中已用硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置体系
:0.02μm淘瓷膜过滤装置微米级硅粒状,通量稳定的在80LMH。
MVR汽化器
:浸提高盐焦化废水,析出出Na₂SO₄副软件,水回收利用率超90%。
之后作用
总硅从1500mg/L高于5mg/L下面
砷含量从0.8mg/L调至0.01mg/L
整体无结渣运营超2年
今年收回盐酸钠单晶体约800吨